A20-HF bCPC

高流量冷凝粒子计数器

为超洁净环境和涡度协方差通量测量提供 2.3 倍更高采样量 —— 每一个颗粒都至关重要

冷凝粒子计数器(CPC)通过在饱和器–冷凝器系统中使纳米颗粒长大至可通过光学方式检测的尺寸,从而检测和计数超细颗粒物。A20-HF 具备 2.3 lpm 的采样流量,相比标准 CPC,每秒可向检测器输送多 2.3 倍的颗粒数量。

适用于

  • 半导体和洁净室污染监测(ISO 14644)
  • 通量塔上的涡度协方差湍流通量测量
  • 任何颗粒浓度较低且每一次计数都至关重要的应用场景

技术特点

  • 采用扩展型冷凝器,在更高流量下实现颗粒增长
  • 更大的喷嘴设计,使所有 A20 系列产品保持一致的脉冲宽度

配备 PG(丙二醇)版本后,A20-HF 可在丁醇受限的半导体洁净室环境中实现无气味、不可燃运行。10 Hz 数据输出和原始脉冲输出功能支持直接进行涡度协方差通量计算。对于洁净室应用,该仪器自身不会产生任何颗粒物。

功能 & 优点

  • 2.3 lpm 高采样流量
  • 7 nm 截断粒径(可根据需求提供 4–10 nm 版本)
  • 仪器自身零颗粒排放
  • 易于操作的触摸屏
  • 10 Hz 数据记录 + 原始脉冲输出
  • 适用于洁净室和半导体应用
  • 兼容涡度协方差通量测量

技术规格

粒径测量范围 7 nm – 2.5 μm *
50% 截止粒径(Dp50%)) 标准 7 nm(可根据需求提供 4–10 nm 版本)
浓度测量范围 0 – 100,000 #/cm³,采用单颗粒计数模式 **
气溶胶进样流量 2.3 lpm
气溶胶采样流量 2.3 lpm(光学系统全流量通过)
响应时间 t95 < 1.15 s
虚假计数 < 0.001 #/cm³
工作液 正丁醇(>99.5%)或根据需求提供丙二醇版本
数据记录 默认 1 Hz,支持 10 Hz 数据记录,或通过 PNC 模拟输出实现原始脉冲输出
样品条件 压力:75–105 kPa    露点:<15°C
环境条件
  • 温度:15–35°C
  • 压力:75–105 kPa
  • 相对湿度(RH):0–95%
通信接口 模拟输出(BNC,0–10 V)、脉冲输出(BNC)、RS-232、RJ45 以太网、USB Type-B
诊断功能 实时监测流量、饱和器/冷凝器/光学系统温度、工作液液位、喷嘴压力、临界孔板压力、激光电流及脉冲质量。
接口 进样口:1/4″ 不锈钢管 ;外部真空接口:1/4″ 不锈钢管(可选配内置真空泵)
软件 Airmodus MultiLogger(支持 Windows 10 及以上版本)
外部真空要求 100–400 mbar(NTP 条件下),或低于进样口压力的 40%
电源要求 外置电源适配器:100–240 VAC,50/60 Hz,最大功耗 160 W;
稳定运行功率:100 W;
输出:12 VDC,11.5 A
尺寸与重量 260 × 230 × 400 mm (H × W × D), 8.5 kg 
运输条件
    • 温度:0–40°C
    • 相对湿度:<95%(无冷凝)
    • 运输时应保持设备直立放置。

注释

* 截断粒径基于迁移等效直径(银颗粒)。可根据需求提供 4–10 nm 定制校准版本。10 nm 版本符合 EN 16976:2024 标准要求。
** 由于光学系统中的高流量设计,最大浓度范围低于 CEN/UF 系列(100K vs 150K)。

相关产品

You may also like…